直接成像光刻

超高效率

集高功率紫外激光/LED光源、10Gbit超大数据吞吐量、实时数字图像处理算法和17857Hz超高速DMD空间光调制器等多项行业内领先技术于一身，LLS系列无掩模直接成像光刻专用光机能够支持最先进的生产效率。

高精度

LLS系列无掩模直接成像光刻专用光机基于自主的光学多路复用专利，可以达到纳米级的拼接精度和边缘粗糙度，从而实现高精度“无掩模直接成像光刻”。

高性价比

高速、高效和可靠的DLP数字光处理技术以及高性价比LED光源保证了LLS系列无掩模直接成像光刻专用光机超长的使用寿命和高回报率。