LUXBEAM® 光刻系统 (LLS) 是为设备制造商和工具制造商集成进下一代直接成像光刻系统的一套子系统。LLS支持先进封装,微光学和PCB加工等应用。为了方便设备和工具厂商容易将LLS集成到其设备和工具中,LLS包括了详细的接口文档和现场技术支持。
高效率
高功率UV紫外光输出,高速数据传输,实时图像处理,以及DLP技术的高刷新频率等几项技术相结合使该系统具有可以支持最先进的生产效率配置的能力。
高精度
基于光复用的自主专利技术,LLS可达到纳米级的拼接和边缘粗糙度,从而实现高精度。
低使用成本
DLP技术结合LED和激光二极管作为光源为LLS系统提供了超长的使用寿命和较低的使用成本。