规格特性/型号

• 精度 • LLS 06
  –6,0 um Line /Space
  • LLS 15
  –15 um Line /Space/dam
  • LLS 30
  –30 um Line /Space/dam
  
• 曝光时间* • LLS 06
  –Up to 200 sides / hour
  • LLS 15
  –Up to 500 sides / hour
  • LLS 30
  –Up to 700 sides / hour
  
• 光源 Multiple LED’s 350nm – 420 nm
• 能量均匀性, PPC 矫正** >99%
• CD 均匀性 • LLS 06
  –>95%
  • LLS 15
  –>90%
  • LLS 30
  –>90%
  
• 外观尺寸 • LLS 06
  –505 x 80 x 421 mm
  • LLS 15
  –505 x 80 x 421 mm
  • LLS 30
  –478 x 89 x 421 mm
  
• 总重量 （不含电源） 9kg
• 功耗 950w
• 冷却系统 Liquid cooling
• 内置相机 Option