• 产品名称: LUXBEAM 光刻系统


 

LUXBEAM LITHOGRAPHY SYSTEM (以下简称LLS)* 光刻系统是基于DLP技术开发的应用于PCB和其他光刻材料的直接成像设备。

 
设备生产厂商可直接集成LLS在他们的直接成像设备上。LLS可通过网页界面控制,非常方便的集成到设备制造厂商。
 
LLS光刻系统有三种不同的版本: LLS10,LLS25,LLS50。
 
LLS10:能做到12um 的线宽线距,完成一片需时9秒
LLS25:能做到25um的线宽线距,完成一片需时6秒
LLS50:能做到50um的线宽线距,完成一片需时6秒
 
所有的LLS光刻系统都是使用多个LED作为光源,波长涵盖350nm-440nm的范围,并具有极高的输出功率。
 
 
高产能
光刻机具有相当高功率的UV光能量输出,再加上高速数据传输接口和超高刷新速度的DLP,能够使设备具有相当高的产能。
 
1Gbit 和10Gbit的高速无损数据传输速率
光刻机的主板LUXBEAM 4700拥有1Gbit 和 10Gbit的以太网接口,能够以非常高的速度接受无损数据传输。文件可以由10Gbit的网口以200Gbit/s的速度从预处理PC传输到设备;工作中,实时的传输则可由1Gbit的网口处理。如此,可以大大减少系统处理图像时间的占比。
 
图像的即时缩放和扭曲
LLS 会将Gerber文件转换成特殊的文件格式。
系统每次加载新的文件只需要数秒,而缩放与扭曲的处理在开始打印的时候可以即时完成。
LLS的此项功能允许LLS能同时处理多种不同方式的打印输出。
 
自动对焦和跟踪系统
由于PCB板材表面并非一个完全平整的平面,所以Visitech开发了该实时自动对焦和跟踪系统,保证当曝光扫描速度高达40 cm/s时,Z轴可以做到在100mm的范围内实现上下500um范围的自动对焦调整,从而确保最终在PCB板上获得完美无暇的曝光效果。
 
低维护成本
DLP以及LED都具有超长的工作寿命,保证了在产品的整个生命周期中非常低的后期维护成本。
 
多个UV LED光源
LLS采用了多个UV LED作为光源,涵盖范围从350nm到440nm,投影镜头设计有很大的焦深,确保每个LED都能投出锐利的画面。
多LED光源能确保LLS针对各种内层,外层以及掩膜都能提供解决方案,甚至能涵盖触摸板以及晶圆电路。
 
LED光源的快捷更换以及自动校准技术
多LED光源能单独作为一个模块从LLS中拆下来,并且客户能自行更换模块上的LED。
LLS能自动读到LED的测试数据,并进行校准,从而保证每一个LLS能输出相同的能量。
 
 
光学多路复用技术(Optical Multiplexing Technology)
LLS是在VISITECH独有的光学多路复用专利技术(Optical Multiplexing Technology)的基础上开发而成的,得以在滚动扫描的过程中实现亚像素化SPX(Sub-pixelation)。
光学多路复用能够在投影图像上达到自然像素36倍的分辨率。
 
像素能量控制(Pixel Power Control)
LLS的单像素能量输出控制技术PPC(Pixel Power Control)可以精确的控制每一个像素的能量输出,保证曝光材料受到均匀的能量照射。
 
精密光学
LLS所采用的光学多路复用技术对光学性能和组装都提出了很高要求。VISITECH特意为此开发了一套镜片组装工艺,从而可以保证每个镜片在XY方向都可以达到+/-5um的精度控制。
 
我们有现成的LLS系统,随时可以为客户进行演示和PCB样品打样,以便客户评估其性能和产能。
 
 
 
(*)代表已获得和正在申请的专利
 
挪视®是一家致力于DLP技术开发的公司,我们以与客户共同创造产品为傲。
社会责任
这是一个国际公益计划,挪视公司参与并帮助了6个国家的10位儿童。
 
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