LLS 10适用于IPC要求的10 - 12um线,具有10%的边缘粗糙度和10%的线厚变化。打印结果显示,LLS的亚像素化和数据处理效果非常好,创建了一个非常有竞争力的光刻系统,可以满足10 um以下的line要求。

上图是一个10um线的圆环,展示了所有角度,并在此展示了打印过程中预处理和实时处理的所有结果。

业务发展总监Oyvind Tafjord说:这样细小的线条和对精确度的严格要求的印刷是具有挑战性的。我们看到LLS10将按照设计执行。安装在正确的机器底座上,具有正确的运动精度(带或不带运动校正)。根据规格,LLS 10可以很好地打印出来。这为我们的LLS打开了另一个细分市场,并促使我们在未来的roadmap中进一步降低线厚和分辨率。